yao 发表于 10-31 09:32

上海微电子新型光刻机专利曝光

上海微电子新型光刻机专利曝光

近日，上海微电子举行新产品发布会，宣布推出新一代大视场高分辨率先进封装光刻机。目前，上微已与多家客户达成新一代先进封装光刻机销售协议，首台将于年内交付。
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