中国首家12英寸晶圆再生工厂在合肥量产
中国首家12英寸晶圆再生工厂在合肥量产安徽省合肥市人民政府15日发布消息称，合肥至微项目当日正式量产，这是中国国内首个立项又最先量产的12英寸晶圆再生工厂。晶圆再生”是指通过去除损耗控挡片表面的杂质和缺陷，使处理后的晶圆达到新片的标准，实现其循环再利用，进而为企业节约大量成本。据介绍，该项目总投资近10亿元，全面达产后可形成每年168万片晶圆再生及120万件零部件清洗的能力，满产后年产值可超过6亿元。
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